與功能僅限于打開(kāi)和關(guān)閉的真空隔離閥不同，真空控制閥可以控制體積流量。 這通常通過(guò)縮小或加寬閥門(mén)通道實(shí)現的。 控制范圍因調節閥的設計原理而異。 這也稱(chēng)為可用電導譜。 具有非常大電導譜的閥門(mén)通常比具有小電導譜的閥門(mén)允許更精細的體積控制。 然而，設計原理和驅動(dòng)類(lèi)型對于閥門(mén)控制的精細度和精度也具有決定性作用。 真空控制閥主要是電驅動(dòng)的，因為電驅動(dòng)通常允許閥板非常精細和快速的位置變化。 兩者對于精確控制都至關(guān)重要。 然而，除了電動(dòng)控制閥外，還有氣動(dòng)解決方案，例如，移動(dòng)到機械預定義的控制位置或手動(dòng)解決方案。 真空控制閥也可作為無(wú)隔離功能的純控制閥使用，即它們從不密封并始終允許最小的殘余體積流量，或者作為控制和隔離閥也可以中斷體積流量。

真空控制閥有多種不同的設計，因為真空系統的控制要求千差萬(wàn)別。 因此，在選擇真空控制閥時(shí)，以下標準是決定性的：

1）閥門(mén)所要控制的最大壓差水平。如果它還具有隔離功能，就不一定是閥門(mén)關(guān)閉時(shí)能承受的最大壓差。
2）所要求的電導率譜的大小和其控制范圍。
3）流速的大小
4）進(jìn)行體積流量變化的速度
5）對體積流中的副產(chǎn)品或一般的侵蝕性介質(zhì)的抵抗力。
6）對流量變化的敏感性，如控制過(guò)程引起的湍流。
7）對可能通過(guò)閥門(mén)排放的顆粒的敏感性。
8）閥門(mén)使用的環(huán)境溫度和控制的環(huán)境溫度。
9）可控性的類(lèi)型為線(xiàn)性流量變化或動(dòng)態(tài)變化，在所謂的控制曲線(xiàn)中，控制速度可以獨立于閥板的位置而控制。